本报讯 近日，清华大学核研院新型能源与材料化学团队首次提出高效光致极性变化调控光刻胶溶解度机制，并成功开发了一种基于金属氧化物纳米颗粒的超高感光度双光子光刻胶。
　　该成果技术大幅缩短了双光子光刻制造所需的时间，这是全球首次将光刻速度提高到米/秒级别，而且显著提高了其加工分辨率，有望实现双光子光刻技术在微纳制造领域的大规模实际应用，同时有望为半导体集成电路芯片制造开辟全新的低成本技术路线。
　　近日，研究成果以“可实现超高速增材制造打印的光刻胶”为题，发表在《自然·纳米技术》（Nature Nanotechnology）期刊上。核研院副教授徐宏、研究员何向明，浙江大学光电科学与工程学院教授匡翠方为该论文的共同通讯作者。核研院博士后刘天棋为第一作者。 （核研院）