本报讯 近日，深圳国际研究生院李星辉副教授团队在多维原子级测量技术研究方面取得新进展。团队提出了一种新型零死区集成式外差光栅干涉仪，可实现三自由度的亚纳米级位移测量，并显著提升了系统在复杂环境下的稳定性和抗干扰能力。该成果为面向光刻系统、原子尺度制造和航空航天超精密测量等应用的高集成度、多维度测量系统发展提供了重要技术支撑。

研究成果以“多维原子级测量：零死区集成式外差光栅干涉仪”为题，发表在《光：先进制造》（Light: Advanced Manufacturing）期刊上。李星辉为该论文的通讯作者，深圳国际研究生院2023级博士生崔璨为第一作者，2021级硕士毕业生高旅业为共同第一作者。

（深圳国际研究生院）